脉冲激光沉积(PLD)是一种在材料制备领域广泛应用的薄膜沉积技术,利用高能量脉冲激光束聚焦在靶材表面,使靶材吸收激光能量后迅速加热、蒸发并电离,形成高温、高密度的等离子体羽辉。等离子体中的粒子具有较高的能量和速度,在飞向衬底的过程中,与周围气体分子发生碰撞和散射,最终沉积在衬底表面,形成薄膜。
应用领域:光电器件以及传感器的制备、生物医学、材料科学等
涉及产品:ALPHA系列焦耳级脉冲激光器、STAR系列水冷灯泵激光器